Tín ngưỡng thờ Mẫu Tam phủ với vị thần chủ là Thánh Mẫu Liễu Hạnh được thực hành ở nhiều địa phương như Nam Định, Hà Nội, Hà Nam, Hưng Yên, Hải Dương, Hải Phòng, Thái Bình, Quảng Ninh, Vĩnh Phúc, Phú Thọ, Yên Bái, Tuyên Quang, Lào Cai, Hòa Bình, Bắc Ninh, Bắc Giang, Lạng Sơn, Nghệ An, Hà Tĩnh, Thừa Thiên Huế, Thành phố Hồ Chí Minh… Chủ thể di sản tín ngưỡng này là các thủ nhang, thầy cúng, thanh đồng, hầu dâng, cung văn, con nhang đệ tử cùng với cộng đồng cư dân có chung một niềm tin vào quyền năng, sức mạnh tối linh, sự bảo trợ của các Mẫu, đứng đầu là Thánh Mẫu Liễu Hạnh, gắn bó với nhau thành bản hội, cùng nhau thực hành nghi lễ thờ cúng, tham gia lễ hội, nghi lễ lên đồng tại các đền, phủ, điện Thờ Mẫu.
Nghi thức cung nghinh rước Thánh Mẫu bằng đường thủy, ngược dòng sông Hương lên Điện Hòn Chén
Tín ngưỡng thờ Mẫu Tam phủ là một hình thức thờ cúng người mẹ hóa thân ở các miền trời, sông nước, rừng núi, hình thành và phát triển mạnh mẽ, các vị thần trong điện thần tam phủ có nguồn gốc không chỉ của người Việt, mà còn của các dân tộc thiểu số ở Việt Nam như người Mường, Tày, Nùng, Dao, v.v. Về cơ bản Đạo Mẫu tự có một hệ thống thần linh đông đảo trong đó chủ yếu là phúc thần. Các tín đồ thường chỉ tập trung thờ tự và sinh hoạt tín ngưỡng xoay quanh các vị này. Chủ chốt và cao nhất là Ngọc Hoàng Thượng đế, Tam Tòa Thánh Mẫu, rồi thấp dần là các hàng Quan lớn, Chầu bà, Ông Hoàng, Cô và Cậu, Ngũ Hổ và Ông Lốt,... và có cả các thần linh địa phương (Thánh Bản Cảnh/ Thánh bản tỉnh). Danh sách các vị thần gồm:
Ngọc Hoàng Thượng đế là vị Thánh cao nhất trong đạo Mẫu, có ban thờ riêng trong các đền và phủ thuộc tín ngưỡng thờ Mẫu. Đứng hai bên ngài là Quan Nam Tào và Quan Bắc Đẩu. Tuy nhiên, cũng có nơi không có ban thờ Ngọc Hoàng Thượng đế.
Tam tòa thánh mẫu: Mẫu Thượng Thiên, Mẫu Thượng Ngàn, Mẫu Thoải.
Hàng Quan Lớn:
Ngũ Vị Tôn Quan: Quan đệ Nhất Thượng Thiên, Quan đệ Nhị giám sát Thượng Ngàn, Quan đệ Tam Thoải Cung, Quan đệ Tứ Khâm Sai, Quan đệ Ngũ Tuần Tranh.
Ngoài ra còn có các vị Lục Phủ Tôn Quan: Quan Lớn Đệ Lục, Quan lớn Điều Thất, Quan Hoàng Triệu Tường, Quan lớn Đệ Bát Đồng Bằng Sông Diêm. Các vị Quan hay được hầu là Quan lớn đệ Nhị, Quan lớn đệ Tam, Quan lớn đệ Ngũ.
Hàng Chầu bà: Chầu đệ Nhất Thượng Thiên, Chầu đệ Nhị Thượng Ngàn, Chầu đệ Tam Thoải Cung, Chầu đệ Tứ Khâm Sai, Chầu Năm Suối Lân, Chầu Lục Cung Nương, Chầu Bảy Kim Giao (Chầu Bảy Tân La), Chầu Tám Bát Nàn, Chầu Chín Cửu Tỉnh, Chầu Mười Đồng Mỏ, Chầu Bé Bắc Lệ, Chầu Bà Thủy Cung. Các vị Chầu phổ biến hay hầu bóng gồm Chầu đệ Nhị, Chầu đệ Tứ (thường Thủ đền, Thủ điện hầu), Chầu Năm, Chầu Lục, Chầu Bát, Chầu Mười, Chầu Bé. Ngoài ra còn một số vị Chầu Bản Đền khác cũng có hát văn, nhưng về cơ bản ít được hầu bóng hoặc là chỉ ở một địa phương hoặc vào ngày tiệc Thánh.
Hàng ông Hoàng: Hoàng Cả, Hoàng Đôi, Hoàng Bơ Thoải Cung, Hoàng Tư, Hoàng Năm, Hoàng Lục Thanh Hà, Hoàng Bảy Bảo Hà, Hoàng tám Bát Nùng, Hoàng Chín Cờn Môn, Hoàng Mười Nghệ An, Hoàng Báo Đông Cuông. Các giá Hoàng thường ngự đồng là Hoàng Bơ, Hoàng Bảy, Hoàng Mười.
Hàng Cô: Cô Nhất Thượng Thiên, Cô Đôi Thượng Ngàn, Cô Bơ Thoải Cung, Cô Tư Tây Hồ, Cô Năm Suối Lân, Cô Sáu Lục Cung, Cô Bảy Kim Giao (Cô Bảy Tân La), Cô Tám Đồi Chè, Cô Chín Sòng Sơn, Cô Mười Mỏ Ba, Hội đồng các cô Bé: Cô Bé Thượng Ngàn, Cô Bé Đông Cuông, Cô Bé Suối Ngang,... Các cô hay ngự đồng là Cô Đôi Thượng Ngàn, Cô Bơ ThủyCung, Cô Chín Đền Sòng, Cô Bé Thượng Ngàn.
Hàng cậu: Cậu Cả, Cậu Đôi, cậu Bơ, Cậu hoàng bé bản đền, Cậu Bé Đồi Ngang
Hàng Ngũ Hổ ông Lốt: Tức là năm ông hổ tượng trưng ngũ hành, và Lốt (Rắn)
Ngoài ra cũng có nhiều vị khác được hát văn ca ngợi, và có hầu một số vị Chúa bà bản cảnh như Chúa Thác Bờ, Bà Chúa Năm Phương vv... Các thần linh kể trên là các thần linh phổ biến nhất, được đông đảo con nhang đệ tử của Đạo Mẫu công nhận thờ phụng, ngoài ra còn một số vị khác ở địa phương, cũng được đưa vào hầu bóng, thường là các Cô bé.